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    日本orc半導體光刻機

    • 產品型號:PPS-8200p1/8300p1
    • 更新時間:2024-08-24

    簡要描述:日本orc半導體光刻機 PPS-8200p1/8300p1
    用途:支持各種應用
    特長
    -寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換)
    -搭載可變NA功能 (可變為0.16和0.1)
    -最多8Field的拼接設計格式
    -光學系統不受感光材揮發氣體和周圍環境中化學物質影響

    產品詳情
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    日本orc半導體光刻機 PPS-8200p1/8300p1

    用途:支持各種應用

    特長

    -寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換)

    -搭載可變NA功能 (可變為0.16和0.1)

    -最多8Field的拼接設計格式

    -光學系統不受感光材揮發氣體和周圍環境中化學物質影響

    制品規格


    型式
    PPS-8200p1/8300p1
    wafer尺寸  6/8/12 英寸
    NA(開口數)0.16、0.1可變
    縮小比1:1
    Field尺寸52mm × 33mm
    光刻波長ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動)
    視野尺寸6inch
    重復對位精度≦0.5 µm(|Ave|+3σ)
    裝置尺寸/重量

    (W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg



    日本orc半導體光刻機 PPS-8200p1/8300p1

    用途:支持各種應用

    特長

    -寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換)

    -搭載可變NA功能 (可變為0.16和0.1)

    -最多8Field的拼接設計格式

    -光學系統不受感光材揮發氣體和周圍環境中化學物質影響

    制品規格

    型式
    PPS-8200p1/8300p1
    wafer尺寸  6/8/12 英寸
    NA(開口數)0.16、0.1可變
    縮小比1:1
    Field尺寸52mm × 33mm
    光刻波長ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動)
    視野尺寸6inch
    重復對位精度≦0.5 µm(|Ave|+3σ)
    裝置尺寸/重量

    (W)2,260×(D)3,460×(H)2,500mm / 5,500kg


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